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Anlagen für die Mikrosystemtechnik dienen der Herstellung mikroelektronischer Schaltungen und Systeme. Die Anlagen, wie z.B. Simulationsanlagen, Sägen, Spritzgießanlagen und Öfen, befinden sich zum Teil in sogenannten Reinräumen, um eine störungsfreie Herstellung der Miniaturprodukte zu gewährleisten.

Zu den berührungslosen Füllstandsmessgeräten mit Mikrowellen gehören u.a. Ultraschallsensoren und Laserdistanzsensoren. Praktische Anwendung finden diese bei der Füllstandsmessung von Silos.

Honmaschinen für Mikrobohrungen sind Schleifgeräte, mit denen Werkzeuge und -stücke bearbeitet werden können, die über Bohrungen im Millimeterbereich verfügen wie z.B. Sicherheitsteile. Sie werden u.a. in der Metallindustrie verwendet.

Berührungslose Mikrodosiersysteme für Klebstoffe sind Maschinen, die v.a. in der Chemieindustrie eingesetzt werden. Mit ihnen werden Klebstoffe so dosiert und abgefüllt, dass sie direkt in der Verpackung (z.B. Tuben) landen, ohne etwas anderes zu berühren.

Mikrodosiersysteme für Flüssigkeiten werden z.B. in der Pharmaindustrie eingesetzt, um die flüssigen Bestandteile von z.B. Medizin auf Mikroebene genau abzumessen. So wird sichergestellt, dass es nicht zu Fehldosierungen kommt.

Mikrofedern sind Federn, die meist aus Federstahldraht bestehen. Sie sind in Größen von unter einem bis hin zu mehreren Millimetern verfügbar. Sie werden z.B. in Hörgeräten, Herzschrittmachern und Uhrwerken verbaut.

Mikro-Hydraulikventile unterscheiden sich in der Arbeitsweise nicht von normalen Hydraulikventilen. Sie sind jedoch wesentlich kleiner und werden daher vor allem im Modellbau oder in Kleinhydraulikgeräten (z.B. Kompakt-Wagenheber) verwendet.

Mikromanipulatoren findet man in der Montage- und Handhabungstechnik. Sie ermöglichen präzise Eingriffe an sehr kleinen Objekten. Je nach Aufgabe, können sie mit feinen Nadeln, Elektroden oder anderen Werkzeugen ausgestattet sein.

Mikromontageroboter sind automatisierte Maschinen, die z.B. in der Automobilindustrie dafür verwendet werden kleinste Maschinenteile an das Werkstück zu montieren z.B. Sicherheitsteile in einem Motorblock.

Mikroohm-Meter sind Messgeräte, die in der Prüftechnik zur Anwendung kommen. Es handelt sich dabei um Messapparaturen zur exakten Bestimmung kleinster Widerstände bis hin zum Nanoohm-Bereich. Mikroohm-Meter gelangen insbesondere bei der Prüfung von Elektroenergieanlagen zum Einsatz.

Als Mikroprozessteuerung werden Halbleiter-Chips bezeichnet, auf denen sich neben dem eigentlichen Prozessor auch Peripheriefunktionen befinden. Oftmals sind gleichzeitig Arbeits- und Programmspeicher integriert. Damit kann eine Mikroprozessorsteuerung als Einchip-Computersystem bezeichnet werden.

Mikropumpen haben die Aufgabe, kleinste Mengen verschiedener Substanzen, z.B. Gase oder Flüssigkeiten, gezielt zu dosieren. In der Analysetechnik wird diese Niedrigmengenförderung v.a. für nicht schmierende Viskositäten verwendet.

Mikropumpen für die pharmazeutische Industrie sind Pumpmechanismen mit besonders kleiner Bauweise. Sie werden benutzt, um z.B. Medikamente in den menschlichen Organismus zu befördern.

Hydraulische Mikropumpen sind Bauteile, die einen gleichmäßigen Volumenstrom erzeugen, den sie auch unter widrigen Umständen beibehalten können. Sie sind deshalb ein wichtiger Bestandteil in der Hydraulik.

Mikro-Punktschweißmaschinen sind Geräte, mit denen kleinste Werkstücke, wie z.B. Platinen durch Schweißnähte miteinander verbunden werden. Sie werden u.a. in der Metallindustrie verwendet.

Ein explosionsgeschützter Mikroschalter besteht aus einem bruchfesten Gehäuse mit einem oder zwei galvanisch getrennten Schalteinsätzen mit einer Öffner- oder Schließfunktion. Diese Mikroschalter werden als Steuer- und Regelstromkreisschalter eingesetzt und widerstehen großen thermischen oder mechanischen Belastungen.

Mikroschmiersysteme werden u. a. in der Metallverarbeitung eingesetzt. Sie tragen eine dünne Schmierschicht z.B. auf Werkzeuge auf und beugen so Werkzeugschäden vor. Das Mikroschmiersystem ermöglicht es, die Größe des Schmierfilms variabel einzustellen.

Mikrostanzteile sind mit dem Verfahren Stanzen hergestellte Bauteile, die bis zu 0,5 mm dünn sein können. Die hochpräzisen Stanzwerkzeuge bestehen z.B. aus Erodierdraht. Mikrostanzteile werden in Mini-Elektromotoren und Antennenfolien in Elektroindustrie, Telekommunikation und Medizintechnik eingesetzt.

Mikroventile sind kleinste Bauteile die über einen mikromechanisch bewegten Stößel Strömungspfade aktiv öffnen und verschließen können. Sie werden in portablen und kompakten Systemen eingesetzt, z.B. in Geräten für die Blutdruckmessung und in miniaturisierten Durchflusssensoren.

Mikroverkapselungen sind Teile, die z.B. in der Pharmaindustrie eingesetzt werden. In ihnen werden Wirkstoffe eingeschlossen und für die spätere Einnahme haltbar gemacht.

Mikrovolumenschläuche erlauben Transport und Dosierung von Flüssigkeiten in kleinsten Mengen. Sie werden aus elastischem, durchsichtigen und biokompatiblen Kunststoff hergestellt. Einsatzarten sind Infusionen sowie andere Anwendungen in der Chirurgie, in Krankenhäusern und Labors.

Mikrowellen-Absorber sind technische Einrichtungen zur Abschirmung von Mikrowellen. Sie nehmen die Wellen auf und wandeln sie in Wärme um. Sie finden z.B. in Messlaboren beim Einsatz empfindlicher Messgeräte Anwendung.

Mikrowellenanlagen dienen der Aufheizung und Trocknung von Werkstücken bzw. Materialien. Diese werden u.a. in Forschungszentren oder für die Lackierindustrie verwendet.

Eine Mikrowellenantenne besteht aus einem Hohlleiter und dient dazu, Frequenzen im Mikrowellenbereich - 1 bis 300 Gigahertz - zu empfangen. Verwendungszweck ist der Einsatz in Kommunikationssystemen oder auch in der Radartechnik.

Mikrowellen-Feuchtemessgeräte sind Feuchtemessgeräte auf Mikrowellenbasis. Dabei wird das gute Absorptionsvermögen des Wassers für Mikrowellen ausgenutzt. Solche Geräte finden u.a. Anwendung in der Bauindustrie, z.B. bei der Bestimmung der Feuchte von Betonwänden.

Mikrowellengeneratoren erzeugen Mikrowellen, die beispielsweise z.B. in der gleichmäßigen Trocknung von Holz benutzt werden. Auch in der Schimmelpilzbehandlung sind Mikrowellen hilfreich, da diese das im Material enthaltene Wasser verdampfen lassen und damit für Trockenheit sorgen.

Mikrowellen-Identifikationssysteme sind Systeme, die an den gespeicherten Dateninhalt des Sendebereichs bzw. Lesebereichs einer Mikrowellenkeule zurückreflektieren. Mithilfe von ihnen lässt sich feststellen, wie viel Gigahertz eine Mikrowelle leistet.

Mikrowellenkabel dienen der sicheren Verkabelung einer Mikrowelle. Sie werden zusammen mit Koaxialkabeln und Steckverbindungen verwendet und sind fester Bestandteil in der Hochfrequenztechnik.

Mikrowellenleckstrahlmessgeräte sind Messgeräte zur Überprüfung von Abschirmungen gegen Mikrowellen. Hierbei wird festgestellt, ob und wo Mikrowellen die Abschirmung durchdringen können. Diese Geräte finden u.a. in der Qualitätskontrolle von Küchengeräteherstellern Verwendung.

Mikrowellenmessgeräte dienen dazu, den Gehalt der Trockenmasse zu bestimmen. Vor allem in der Zuckerindustrie sind Mikrowellenmessgeräte unerlässlich, da sie zur Regelung sowie Verbesserung der Zuckerqualität erforderlich sind.

Mikrowellen-Richtfunkanlagen sind Antennen, die ihre Funkwellen gebündelt in eine bestimmte Richtung senden und ebenso auch empfangen. Die dabei verwendeten Frequenzen liegen zwischen 1 und 40 GHz. Zum Einsatz kommt dieses Funkverfahren im Betrieb von Mobilfunknetzen.

Die Mikrowellensensorik ist ein Fachgebiet technischer Mess- und Regelsysteme mit Hilfe von Mikrowellen. Anwendung findet die Mikrowellensensorik z.B. bei der Messung von Volumenfeuchte oder in der Sicherheitstechnik.

Mikrowellentrockner werden vorwiegend zur Trocknung von Bausubstanz (Mauerwerk, Beton) eingesetzt. Dazu werden die Flächen mit hochenergetischen Mikrowellen bestrahlt. Diese Art der Trocknung ist deutlich schneller als mit Kondensations- bzw. Adsorptionstrocknern. Allerdings ist das Verfahren teuer.

Mikrozahnringpumpen können wiederholt sehr kleine, genaue Mengen eines viskosen Mediums dosieren. Sie werden daher in industriellen Produktionsprozessen eingesetzt um z.B. Kleb- oder Schmierstoffe genau abzumessen.

Hydraulische Mikrozylinder setzen den Druck, der auf eine Flüssigkeit wirkt, in Bewegung um. Sie haben Abmessungen von wenigen Zentimetern und werden u.a. zur Bewegung von Industrierobotern eingesetzt.

Prüfkarten für die Mikroelektronik umfassen vielfältige Technik im Steckkartenformat, mit der spezielle mikroelektronische Prozesse geprüft und getestet werden können, z.B. Effizienz, Präzision, Sicherheit.

Mikrobiologische Sicherheitswerkbänke verhindern durch Filtern der Umgebungsluft die Kontamination von Personen oder Gegenständen mit biologischen Agenzien. Sie werden vor allem in der Gentechnik und bei der Arbeit mit Zellkulturen eingesetzt.

Sondermaschinen für die Mikroelektronik werden nach den jeweiligen Anforderungen und geplanten Fertigungsprozessen entwickelt. Dabei handelt es sich meist um komplette Systemlösungen von der Prozessentwicklung über die Fertigung und Installation elektronischer Baugruppen bis hin zu Softwarelösungen.

Stromversorgungen für Mikrowellenerwärmungsanlagen versorgen das Kernstück der Mikrowellenerwärmungsanlage mit elektrischer Energie. Mikrowellen werden mithilfe einer speziellen Röhre, eines Magnetrons, erzeugt. Dieses benötigt eine hohe Anschlussspannung von etwa 5000V, die darüber hinaus noch pulsierend sein muss.

Ultraschallmikrobearbeitungsanlagen werden für Arbeiten verwendet, bei denen Toleranzen im Mikrobereich eingehalten werden müssen. Zur eigentlichen Bearbeitung werden dabei Ultraschallwellen benutzt. Somit lassen sich z.B. Kleinstbauteile aus Kunststoff miteinander verschweißen.