Anlagen für die Mikrosystemtechnik dienen der Herstellung mikroelektronischer Schaltungen und Systeme. Die Anlagen, wie z.B. Simulationsanlagen, Sägen, Spritzgießanlagen und Öfen, befinden sich zum Teil in sogenannten Reinräumen, um eine störungsfreie Herstellung der Miniaturprodukte zu gewährleisten.

Mit Anzeige- und Bedienterminals werden Maschinen überwacht und kontrolliert. Explosionsgeschützte Anzeige- und Bedienterminals sind dann vorzuziehen, wenn es sich um gefährliches Umfeld handelt.