Über SIGA GmbH
SIGA entwickelt und baut Systeme zum Dosieren von Gasen und flüssiger Precursor – ganz nach Ihren Vorgaben: Ob für 1, 2 oder viele Gase und Precursor. Einschließlich Steuerung mit Hard- und Software.
DIN EN ISO 9001
Zertifikate
Weltweit
Liefergebiet
1992
Gründungsjahr
5 – 9
Mitarbeiteranzahl
Angebotsübersicht und Ansprechpartner
Kategorien
CVD-Beschichtung
Herr Peter Probst Geschäftsführung
Dünnschichttechnik
Herr Peter Probst Geschäftsführung
Gasdosiersysteme
Herr Peter Probst Geschäftsführung
Gasmischanlagen
Herr Peter Probst Geschäftsführung
Heliumrückgewinnungsanlagen
Herr Peter Probst Geschäftsführung
Kalibriergasanlagen
Herr Peter Probst Geschäftsführung
Maschinen und Anlagen für die Oberflächenbeschichtung
Herr Peter Probst Geschäftsführung
Verdampfer
Herr Peter Probst Geschäftsführung
Standort & Kontakt
SIGA GmbH
Kesselbodenstrasse 4b
DE-85391 Allershausen
Über uns
Über SIGA GmbH
SIGA entwickelt und baut kundenspezifische Systeme zum Messen, Regeln und Steuern von Gasflüssen und zum Verdampfen und Dosieren flüssiger Precusor ergänzt von Precursor Versorgungssystemen.
Mit unseren Gassystemen können Sie ein Gas oder viele Gase oder Precursor dosieren und diese einer oder mehreren Gebrauchsstellen zuführen. Ergänzt werden die Systeme von einer rechnergestützten Steuerung mit Hard- und Software. Die Auslegung erfolgt nach Ihren Wünschen auf der Grundlage unserer Erfahrung.
Wir bieten u.A. Precursor Verdampfersysteme & Versorgungssysteme, Brennersysteme, Aktivkohlefilter-Konditioniersysteme
Zum Einsatz kommen Massenflussregler MFCs, Ventile, Filter, Drucksensoren, Temperaturfühler, etc. Anwendungsgebiet ist überall dort wo Gase in Fertigungsprozessen eingesetzt werden, z.B. zum Abscheiden dünner Schichten CVD.
Zertifikat DIN EN ISO 9001:2015
Systeme von SIGA •Precursor Verdampfer ◦Verdampfer für einen Precursor ◦Verdampfer für 2 oder mehr Precursor ◦Flüssigdosierung mit anschliessender Verdampfung
•Precursor Versorgungssysteme •Gasmischsysteme •Reinstgassysteme •AKF-Beladestationen •Brennersysteme
Mit unseren Gassystemen können Sie ein Gas oder viele Gase oder Precursor dosieren und diese einer oder mehreren Gebrauchsstellen zuführen. Ergänzt werden die Systeme von einer rechnergestützten Steuerung mit Hard- und Software. Die Auslegung erfolgt nach Ihren Wünschen auf der Grundlage unserer Erfahrung.
Wir bieten u.A. Precursor Verdampfersysteme & Versorgungssysteme, Brennersysteme, Aktivkohlefilter-Konditioniersysteme
Zum Einsatz kommen Massenflussregler MFCs, Ventile, Filter, Drucksensoren, Temperaturfühler, etc. Anwendungsgebiet ist überall dort wo Gase in Fertigungsprozessen eingesetzt werden, z.B. zum Abscheiden dünner Schichten CVD.
Zertifikat DIN EN ISO 9001:2015
Systeme von SIGA •Precursor Verdampfer ◦Verdampfer für einen Precursor ◦Verdampfer für 2 oder mehr Precursor ◦Flüssigdosierung mit anschliessender Verdampfung
•Precursor Versorgungssysteme •Gasmischsysteme •Reinstgassysteme •AKF-Beladestationen •Brennersysteme