Precursor Versorgungssystem

Herstellung von Versorgungssystemen Versorgungssysteme dienen der sicheren Versorgung von Verbrauchern wie Flüssigdosiersystemen oder Verdampfersystemen, z.B. der Reihe VS-100, mit den dort eingesetzten flüssigen Chemikalien. Silane, Chloride und Metallalkyle wie SiCl4, TiCl4, SiHCl3, HMDSO, DEZ, TMA oder viele andere kommen hier zum Einsatz. Die Auslegung des Systems erfolgt anwendungsspezif...