Ob das Reinraumsystem den festgelegten Differenzdruck zwischen den Reinraumbereichen (Druckkaskaden) aufrechterhalten kann, wird mit dieser Prüfung nachgewiesen.
Sie sollte erst durchgeführt werden, wenn die RLT-Einrichtung die oben genannnten Abnahmekriterien hinsichtlich Luftströmungsgeschwindigkeit oder Strömungsvolumen etc. erfüllt. Zur Durchführung werden ähnliche Messgeräte wie bei der Filterdifferenzdruckmessung eingesetzt.