Mit dieser Prüfung wird die Luftreinheitsklasse bestimmt und festgestellt, welche Grundpartikelbelastung im Reinraum oder Reinen Bereich vorhanden ist und ob die vom Kunden vorgegebenen Klassengrenzen in den einzelnen Betriebszuständen (as built, at rest, in operation) eingehalten wurden. Die Ermittlung der Probenahmestellen (mindestens zwei) wird über A (Fläche des Reinraumbereichs) berechnet. Sind weniger als 10 Messstellen vorhanden, so wird der Gesamtmittelwert, die Standardabweichung des Mittelwerts und die obere Vertrauensgrenze für ein 95%-iges Vertrauensniveau berechnet. Bei mehr als neun Stellen entfällt die Berechnung. Die geforderten Partikelkonzentrationen müssen an jedem Messort eingehalten werden.