Funktionselemente

Schieberventile sollen die Trennung verschiedener Vakuumabschnitte sichern und dürfen keine inneren Leckagen zwischen diesen Abschnitten durch aufwachsende Abscheidungen zulassen. Wichtig für den Funktionserhalt insbesondere an sicherheitsrelevanten Baugruppen ist, dass diese, in eine komplett mit einer Beheizung umschlossenen Abgasleitung vollständig mit integriert sind, um an jedem Abschnitt der Leitung eine möglichst hohe, dem jeweiligen Prozess angepasste Temperatur einzuhalten. Kältebrücken, an denen sich Abscheidungen bilden, lassen sich damit vermeiden.