Produktionsreaktor zur thermischen Atomlagenabscheidung (ALD)

Hoch kompakter Vakuumreaktor zur thermischen Atomlagenabscheidung (ALD) im industriellen Maßstab.

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Über dieses Produkt

Edelstahl-Vakuumreaktor zur thermischen Atomlagenabscheidung (ALD), beheizbar bis 220°C, zur Produktion von nano-beschichteten Substraten/Pulvern im industriellen Maßstab. Ein optimiertes Design minimiert die Pumpzeit und reduziert den Präkursoren-, bzw. Spülgasverbrauch. Intuitive Bedienung über modernes HMI. Die Zyklensteuerung kann über eine In-Prozess-Restgasanalyse (RGA) oder zeitgesteuert erfolgen.

INAKON GmbH

INAKON GmbH ist tätig im Sondermaschinen- und Anlagenbau, Prozess- und Verfahrenstechnik, Ingenieurdienstleistungen, Entwicklung/Fertigung von Kleinserien mechanischer und elektronischer Bauteile.

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