Weißlicht-Interferometer zur absoluten Abstandsmessung mit Subnanometer-Genauigkeit

Das vakuumtaugliche Weißlichtinterferometer IMS5600-DS wird zur Abstandsmessung mit in Sub-Nanometer-Genauigkeit eingesetzt. Das Weißlichtinterferometer IMS5600-DS wird zur Abstandsmessung mit in Sub-Nanometer-Genauigkeit eingesetzt und ist für Messungen im Reinraum und im Vakuum (bis UHV) konzipiert. Mit einer Auflösung von < 30 Pikometer erreichen die Messwerte des innovativen interferoMETER von Micro-Epsilon ein neues Präzisionslevel in der optischen Messtechnik. Ein Sonderabgleich des Controllers ermöglicht eine Sub-Nanometer-Auflösung, die beispielsweise bei der Wafer-Ausrichtung oder bei der Stagepositionierung erforderlich ist. Die interferoMETER bestehen aus einem Controller, einem Sensor und einem Lichtleiterkabel. Die Sensoren sind für industrielle Messaufgaben entwickelt worden. Daher sind sie mit robusten Metallgehäusen und hochflexiblen Kabeln ausgestattet. Über zahlreiche analoge und digitale Schnittstellen wie Ethernet und EtherCAT ist eine einfache Anbindung möglich. Die Konfiguration erfolgt über ein benutzerfreundliches Webinterface für Inbetriebnahme und Parametrierung.