Reinstgassysteme
Reinstgassysteme

Reinstgassysteme

Über dieses Produkt

Besuchen Sie die Produktseite
Herstellung von Gasdorsiersystemen für Reinstgase Gasdosiersysteme für Reinstgase werden immer dann eingesetzt, wenn besonders hohe Anforderungen an die Reinheit der Gase gestellt werden. Aufgrund der Konstruktion und der eingesetzten Komponenten erfüllen diese Systeme auch die gestellten Anforderungen in Bezug auf Leckdichtigkeit und Langlebigkeit beim Einsatz von besonders kritischen, korrosiven oder giftigen Gasen. Häufiges Einatzgebiet von Reinstgassysteme ist die Abscheidung dünner Schichtung, bei CVD Prozesse ob LPCVD Systeme im Niederdruckbereich oder Prozessdruck bei Atmosphäre. Substrate zur Abscheidung können Silizium Wafer, Glas, Kunststoff oder Metall sein. Andere Anwendungsbereich sind der Aufbau von synthetischer Keramik und synthetischem Quarzglas oder andere Prozesse bei denen die Oberfläche eines Objektes verändert wird oder eine Schicht aufgetragen wird, z.B. durch Sputtern. Kernstück der Dosiersysteme sind die eingesetzten MFCs, elektronische Massenflussmesser – und Regler. Die erfasste physikalische Messgröße ist der Wärmtransport des an den Sensoren vorbei fließenden Gases. Neben festen Kenngrößen des Gases gehen die Anzahl der am Sensor vorbei fließenden Gasmoleküle in den Messwert ein. Als Ergebnis wird somit ein echter Massenfluss gemessen. Die Anzeige erfolgt in Liter/Minute bezogen auf Normalbedingungen, 0°C und 1.013 hPa. Beim Einsatz verschiedener Gase kann mit Umrechnungsfaktoren gearbeitet werden. Weitere wichtige Komponenten der Gasdosieranlagen sind die Ventile, die membrangedichtet oder faltenbalggedichtet sein können. Die Betätigung erfolgt in der Regel pneumatisch – federkraftschließend oder federkraftöffnend, bei Eingangs- und Spülventilen von Hand. Ergänzt werden die Systeme durch Druckminderer, Manometer, Rückschlagventilen, etc. Weitere Komponenten werden nach Anforderungen des Einsatzfalles ausgewählt. Für die Verrohrung werden ausschließlich Edelstahlrohre verwendet, Oberflächenrauhigkeit 0,4 µm, Materialnummer 1.4404 bzw. 1.4435, entsprechend SS316/316L. Alternativ können auch elektropolierte Rohre mit einer Oberflächenrauhigkeit 0,25 µm eingesetzt werden. Alle Rohrverbindungen werden automatisch orbital unter Schutzgas verschweißt. Rohrbögen werden durch Eckstücke ersetzt. Für die lösbaren Rohrverbindungen werden Face-Seal Verschraubungen wie z.B. VCR-Fittinge verwendet. Als Dichtscheiben werden in der Regel versilberte Edelstahlscheiben eingesetzt. Alternativ können auch unversilberte Edelstahlscheiben oder Nickelscheiben angeboten werden. Der Einbau der Gasdosieranlage erfolgt in einem Gehäuse aus Stahlblech mit Pulverbeschichtung oder aus Edelstahl. Oftmals ist auch nur der Aufbau auf einer Montageplatte gewünscht, der Einbau erfolgt dann direkt in die Anlage des Kunden. Zur Steuerung der Gasdosiersysteme kann eine eigene programmierbare Steuerung mit Bedientableau eingesetzt werden. Alternativ können die Signale auf einen Busknoten aufgelegt werden, Kommunikation mit der Anlagensteuerung mit Profibus DP oder einer anderen seriellen Schnittstelle. Oder die Signale werden über eine Klemmleiste direkt auf die Steuerung der Anlage gelegt.
Ähnliche Produkte
1/9
Gasmischer
Gasmischer
Gasmischer für verschiedene Gase. Einspeisung mit Kontaktmanometern zur Anzeige bei Gasmangel. Gasmischsysteme gibt es in vielen unterschiedlichen Au...
DE-85391 Allershausen
Brennersysteme
Brennersysteme
In einem Brennersystem werden 2 Gase dosiert, zum einen das Brenngas selber, hier in der Regel Wasserstoff, Propan oder Methan und als Nährgas Sauerst...
DE-85391 Allershausen
Precursor Versorgungssystem
Precursor Versorgungssystem
Herstellung von Versorgungssystemen Versorgungssysteme dienen der sicheren Versorgung von Verbrauchern wie Flüssigdosiersystemen oder Verdampfersyste...
DE-85391 Allershausen
Simulationssystem
Simulationssystem
System zur Simulation von Schadstoffen in der Luft. Wird zum Testen von Atemluftfiltern eingesetzt. Gasmischsysteme gibt es in vielen unterschiedlich...
DE-85391 Allershausen
Flüssigdosierung mit anschließender Verdampfung
Flüssigdosierung mit anschließender Verdampfung
Eine Alternative zur Verdampfung mit anschließender Dampfdosierung besteht in der Flüssigkeitsdosierung mit anschließender Verdampfung des Precursors.
DE-85391 Allershausen
Verdampfer für einen Precursor
Verdampfer für einen Precursor
Galerie Verdampfer für einen Precursor (zum Öffnen bitte anklicken) Die Medien die bei einem CVD Prozess zum Einsatz kommen liegen häufig als Gas vor ...
DE-85391 Allershausen
Verdampfersystem für 2 oder mehr Precursor
Verdampfersystem für 2 oder mehr Precursor
Sollen für einen Abscheideprozess mehrere Elemente abgeschieden werden die als Flüssigkeit vorliegen, so können die Verdampfersysteme auch für 2 oder ...
DE-85391 Allershausen
Kundenspezifische Gasmischsysteme & Gasmischanlagen
Kundenspezifische Gasmischsysteme & Gasmischanlagen
Gasmischsysteme gibt es in vielen unterschiedlichen Ausführungen. Das kann ein Gasmischer für 2 Gase sein um ein Schutzgas oder Formiergas, synthetisc...
DE-85391 Allershausen
Aktivkohlefilter AKF fürs Auto / KFZ
Aktivkohlefilter AKF fürs Auto / KFZ
Die in einem Kraftfahrzeug (KFZ) mit Benzinverbrennungsmotor eingesetzten AKF Aktivkohlefilter werden entsprechend den USA Regelwerken CARB und EPA un...
DE-85391 Allershausen
Logo
Geprüft

SIGA GmbH

Kesselbodenstrasse 4b, DE-85391 Allershausen
Lieferung
Lieferung: Weltweit
Gegründet
Gegründet: 1992
Mitarbeiter
Mitarbeiter: 5-9
Lieferantentyp
Info
Hersteller
Zertifikate(1)
DIN EN ISO 9001
Trend-Produkte
1/15
Waldkindergarten-Wagen
Waldkindergarten-Wagen
WEHA FAHRZEUG- & CONTAINERBAU GMBH & CO. KG
DE-78234 Engen
Husqvarna K 960 Chain
Husqvarna K 960 Chain
mann diamanttechnik GmbH & Co. KG
DE-44805 Bochum
KIPPER
KIPPER
Trebbiner Fahrzeugfabrik GmbH
DE-14959 Trebbin
Festool Tauchsäge TS 55
Festool Tauchsäge TS 55
ZEG Zentraleinkauf Holz+Kunststoff eG
DE-70806 Kornwestheim
Landwirtschaftsfahrzeuge
Landwirtschaftsfahrzeuge
Lakowa Gesellschaft für Kunststoffbe- und -verarbeitung mbH
DE-02681 Wilthen
Hochlader
Hochlader
Westfalia-Eichmann GmbH
DE-60386 Frankfurt/Main
Traktoren
Traktoren
WEMATIK GmbH
DE-48531 Nordhorn
 Mutterboden/Oberboden gesiebt
Mutterboden/Oberboden gesiebt
Easy Erdbau & Abbruch GmbH
DE-12357 Berlin
Parfüm
Parfüm
Parfum Trend
DE-63517 Rodenbach
Makita Akku Bohrschrauber
Makita Akku Bohrschrauber
ZEG Zentraleinkauf Holz+Kunststoff eG
DE-70806 Kornwestheim
AdBlue 1000 Liter IBC Container
AdBlue 1000 Liter IBC Container
Moser Handels GmbH
DE-86447 Todtenweis
Komfort-Dreirad MALTA
Komfort-Dreirad MALTA
draisin GmbH i.L
DE-77855 Achern
Flachform-Hubtische
Flachform-Hubtische
EdmoLift Hebetechnik GmbH
DE-31515 Wunstorf
3,5 t Kasten mit Ladebordwand
3,5 t Kasten mit Ladebordwand
Erich Mayer LKW-Verleih GmbH
DE-74076 Heilbronn