Mit dem LinearLevi-Inspektionsmodul können Substrate während dem berührungslosen Transport inspiziert werden.
Materialien wie Batteriezellen, Folien, Verpackungen sowie Wafer und Chips werden ohne Unterbrechung auf ihre Qualität geprüft. Das Substrat wird während des Transports bzw. der Inspektion auf Abstand gehalten, sodass Berührungspunkte verhindert werden. Es besteht auch die Möglichkeit, die Substrate anschließend anhand ihrer Inspektionsergebnisse entsprechend zu sortieren. Das System kann in verschiedenen Versionen geliefert werden. Es lässt sich beispielsweise mit dem UltraLeviDesk für den berührungslosen Transport kombinieren.
Merkmale des LinearLevi-Inspektionsmoduls:
- Aneinanderreihbar
- Unterschiedliche Größen
- Keine Partikel, da keine Luftverwirbelungen
- Doppelseitige Inspektion möglich
- Hohe Ebenheit, auch bei flexiblen Substraten
- Individualisierbar nach Kundenvorgaben