SM95G – Niederdruck-Die

Der SM9520A ist ein mikrostrukturierter, piezoresistiver Drucksensorchip aus Silizium (MEMS die). Dieses Gerät ist mit einem maximalen Messbereich von 1,0 bis 10 kPa (0,15 bis 1,50 psi) erhältlich und eignet sich ideal für OEM- und Großserienanwendungen. Die Sensoren werden in Form eines Dies geliefert und können auf Keramik- oder PCB-Substraten als Teil eines OEM-Systems montiert werden. Sie können auch in proprietäre oder anwendungsspezifische Sensorlinien integriert werden. Die Dies werden elektrisch getestet, vereinzelt, geprüft und als 200mm-Wafer auf Folie ausgeliefert. Model: SM9520A-100M-G-D Druckbereich: 1.50 PSI