Schwingquarze

Zusammen mit unserem exklusiven Partner JJK bieten wir Ihnen das gegenwärtig umfangreichste Portfolio an Schwingquarzen für Ihren PVD-Prozess. Alle Schwingquarze werden hinsichtlich Frequenz, Widerstand und Wölbung geprüft, um Ihnen ein möglichst fehlerfreies Produkt liefern zu können. Unsere mit 5 und 6 MHz erhältlichen Schwingquarze, die mit Elektroden aus Gold, Silber oder aus einer belastungsverringernden Legierung ausgestattet sind, werden nach strengen Vorgaben hergestellt und sorgfältig geprüft, um eine hohe Ausbeute und optimale Zuverlässigkeit zu gewährleisten. Für die meisten Anwendungsfälle empfehlen wir den Einsatz von Gold - Schwingquarzen. Diese Schwingquarze zeichnen sich durch einen niedrigen Kontaktwiderstand und eine hohe Beständigkeit aus. Die Schwingquarze mit Goldelektroden eignen sich am besten zur Überwachung von PVD-Prozessen, die geringen Belastungen ausgesetzt sind. Silber-Schwingquarze zeigen bei Prozessen mit hoher Wärmebelastung ein überlegenes Prozessverhalten. Alloy-Schwingquarze empfehlen sich bei Beschichtungen mit nichtleitenden Materialien in der Optik und für Halbleiterprozesse mit hochbeanspruchten Materialien. Bei einigen Mehrschichtanwendungen und anderen speziellen Dünnschichtanwendungen sind Quarze hilfreicher, die auf einen sehr schmalen Frequenzbereich abgestimmt sind.