PERMA KOTE™-Produkte

PERMA KOTE™ ist ein Produkt, auf das mittels Toyo Tansos geschütztem CVD-Verfahren (chemische Gasphasenabscheidung) eine dünne Schicht Siliziumkarbid auf hochreinen isotropen Graphit aufgebracht wird. Eigenschaften von SIC beschichteteten Suszeptoren (PERMA KOTE™) - Die Siliziumkarbidschicht verfügt über eine herausragende Oxidations-, Korrosions- und chemische Beständigkeit. - Sie ist zudem bei hohen Temperaturen stabil und extrem hart. - Sie verhindert die Abgabe von Graphitpartikeln sowie die Diffusion von Gas und Verunreinigungen aus dem Graphitsubstrat. - Sowohl das Graphitsubstrat als auch die Siliziumkarbidschicht sind von hoher Reinheit. - Graphitsubstrat und Siliziumkarbidschicht besitzen zudem eine hohe Wärmeleitfähigkeit und exzellente Wärmeverteilungseigenschaften. - Das Material ist so aufgebaut, dass es weder zur Rissbildung noch zur Delaminierung kommt. Anwendungsmöglichkeiten - Suszeptoren für Silizium Epitaxie - Anlagen für die Herstellung von Einkristallsilizium - MOCVD-Suszeptoren - Heizer - Wärmeableiter - Oxidationsbeständige Komponenten