Weißlicht-Interferometer zur stabilen Dickenmessung mit Submikrometer-Genauigkeit

Das Weißlichtinterferometer IMS5400-TH wird für nanometergenaue Dickenmessung auch bei Abstandsschwankung und vibrierenden Messobjekten eingesetzt. Das Weißlicht-Interferometer IMS5400-TH wird für hochgenaue Dickenmessungen aus verhältnismäßig großem Abstand eingesetzt. Ein entscheidender Vorteil ist dabei die abstandsunabhängige Messung, bei der ein nanometergenauer Dickenwert auch bei bewegten Objekten erzielt wird. Mit einer Auflösung von < 30 Pikometer erreichen die Messwerte des innovativen interferoMETER von Micro-Epsilon ein neues Präzisionslevel in der optischen Messtechnik. Der große Dickenmessbereich ermöglicht die Messung von dünnen Schichten, Flachglas und Folien. Da das Weißlichtinterferometer mit einer SLED im Nah-Infrarotbereich arbeitet, ist auch die Dickenmessung von antireflex-beschichtetem Glas möglich.