Die Sekundärionenmassenspektrometrie (TOF-SIMS) ermöglichst die Messung der atomaren und molekulare Zusammensetzung der obersten 1-3 Monolagen einer Probe. Insbesondere erlaubt sie eine eindeutige Ide
Kurzprofil der ToF-SIMS:
Nachweis aller Elemente (inkl. Isotope), molekulare Informationen
Nachweisgrenze im Bereich von Sub-Monolagen (ppm)
Informationstiefe ca. 1-3 Monolagen
Laterale Auflösung bis zu 0,3 µm
Arbeitet auch Abbildend
Quantifizierung ist eingeschränkt möglich (mit Standards)
Exemplarische Anwendungsmöglichkeiten:
Identifizierung organischer und anorganischer Verbindungen auf Oberflächen
Spezifische Informationen von dünnen Schichten bis zu Sub-Monolagen
Identifizierung von Kontaminationen
Analyse leitender und nichtleitender Oberflächen
Erstellung von Tiefenprofilen
Abbildung von Lateralverteilungen