Prüflabor für Profilometrie und Rauheitsmessungen

LABOR FÜR PROFILOMETRIE und Rauheitsmessungen Mittels optischer Profilometrie kann die Topographie einer Oberfläche berührungslos mit einer vertikalen Auflösung bis in den Nanometerbereich und einer lateralen Auflösung im Bereich von bis zu ~0,2 nm untersucht werden. 2D und 3D Abbildung und Vermessung von Oberflächentopographien Messung von Rauheitsparameter : 2D-Analysen: ISO 4288 (Ra, Rq, ...) 3D-Analysen: ISO 25178 (Sa, Sq, ...) Ausmessen von Stufenhöhen, z.B. zur Bestimmung von Schichtdicken Verschiedene berührungslose und damit zerstörungsfreie Messverfahren zur Wahl: Konfokale Laser-Scanning-Mikroskopie Weißlicht-Interferometrie Fokusvariation Messung unter Umgebungsbedingungen Schichtdicken Messungen