HOCHLAST-NANOPOSITIONIERSYSTEME MIT PIEZOANTRIEB UND DIREKTMETROLOGIE
Führungsgenauigkeit 1nm
Spielfreie und hochgenaue Festkörperführungen Belastbarkeit bis 10 kg
Auflösung <1 nm
Direktmetrologie mit kapazitiven Sensoren für höchste Genauigkeit
Kurze Ansprechzeit durch Direktantrieb
Stellweg 75 μm
Überlegene Lebensdauer dank PICMA®Piezoaktoren