Die Beleuchtung bei Koh Young hat keinen Einfluss auf das Ergebnis der Höhenmessung. Daher sind die Messergebnisse bei einem 3D AOI dauerhaft reproduzierbar und von Maschine zu Maschine gleich, wodurch die Inspektionsqualität auch bei mehreren Systemen in der Fertigung konstant bleibt. Erst in der 3D Ansicht ist die Polungsmarke klar erkennbar.