... Anlagen (z. B. Sputteranlagen oder Clusteranlagen) mit Turbopumpe stellt der MicroStar von RICOR eine unkomplizierte und zuverlässige Lösung dar. Er wird einfach zwischen der Turbopumpe und dem Rezipienten eingebaut. Über seine RS232 Schnittstelle in Verbindung mit der eingebauten Regelelektronik lässt er sich leicht in Anlagensteuerungen integrieren. Den MicroStar gibt es mit Flanschgrößen bis...