Abgasleitungen
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Moderne Fertigungsverfahren erfordern immer komplexer werdende Prozessgasgemische, die oftmals zur unerwünschten Bildung von Abscheidungen neigen oder gelegentlich auch zur Kondensation führen. In den Abgasabschnitten der Prozessanlagen liegt das, größtenteils noch reaktionsfähige, Prozessgas-Gemisch in einer hohen Konzentration vor, da dessen Gasdruck durch die Vakuumpumpe auf etwas über Atmosphärendruck angehoben wurde. Die Bildung von festen Reaktionsprodukten ist hierdurch leichter möglich und deren unerwünschte Resultate wurden von vielen sicher in der Praxis schon festgestellt. Ohne spezielle Vorkehrungen nehmen die Schichtdicken der Abscheidungen im Inneren des Abgasrohrs mit exponentieller Geschwindigkeit zu, solange, bis der Pumpstand mit Drucküberlastung ausfällt. Prozesstechnisch ist das ein unbedingt zu vermeidendes Ereignis. Als eine der üblichen Gegenmassnahmen wird deshalb die regelmäßige Reinigung der Abgasrohre vorgenommen. Eine Prozedur, die mit erheblichem Aufwand an Personal und Zeit verbunden ist und zu erhöhten down-Zeiten der angeschlossenen Anlagen führt. Mittels effektiver Beheizung gelingt es in vielen Fällen, dieses Problem zu unterbinden.

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