TOPOS Interferometrische Messsysteme

TOPOS Interferometrische Messsysteme für die berührungslose Ebenheitsprüfung von feinbearbeiteten Präzisionsteilen TOPOS Interferometer arbeiten nach dem Prinzip des streifenden Lichteinfalls, so dass die Ebenheit auch rauerer Teile, die mit dem Planglas oder Fizeau-Interferometer kein Streifenbild mehr zeigen, gemessen werden können. Aus dem Interferenzstreifenbild wird von einem Rechner die Ebenheit eines Teils bestimmt. Neben geläppten oder feingeschliffenen Teilen sind auch polierte Teile messbar. Die Teile können aus verschiedensten Werkstoffen bestehen: Metall (Stahl, Aluminium, Bronze, Kupfer, etc.) Keramik (AL2O3, SiC, SiN, etc.) Kunststoff etc. Die Interferometer können in der Fertigung in der Nähe der Bearbeitungsmaschine aufgestellt werden. Die Absolutgenauigkeit beträgt bis zu 0.1 µm über das gesamte Messfeld.