DC-Sputterversorgungen
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Die DC-Sputterstromversorgungen sind sehr kompakt aufgebaute Gleichspannungsgeneratoren in den Leistungsbereichen von 1kW DC bis zu 30kW DC. Die Generatoren sind ideal sowohl zur Versorgung von kleinen Magnetrons in Produktions- und Laboranlagen als auch von Magnetrons in Großflächenbeschichtung zur Abscheidung von leitfähigen Materialien. Das integrierte ARC-Handling arbeitet extrem schnell und vollautomatisch, so dass keine Parameter eingestellt werden müssen. Durch ein spezielles Schaltungskonzept lassen sich die Generatoren parallel schalten, wodurch eine Leistungserhöhung bis auf 240kW DC möglich ist.
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