FUTUR – Pumpen für die Halbleiterindustrie
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Seit 1984 baut ALMATEC Spezialpumpen für Chemikalienversorgung und Badumwälzung in der Halbleiterindustrie. Die Pumpenbaureihe FUTUR wurde speziell für die besonderen Anforderungen dieses Bereiches entwickelt. Die Werkstoffvarianten für die unterschiedlichen Einsatzfälle in der Halbleiterindustrie: 4 Baugrößen in PTFE/UPPE für Säuren und Laugen bis 130°C (Typ FUTUR T) 2 Baugrößen in PTFE für Heißanwendungen von Säuren und Laugen bis 200°C (Typ FUTUR H) 2 Baugrößen in UPPE für Poliermittel (Typ FUTUR E) 2 Baugrößen in Edelstahl für Lösemittel (Typ FUTUR S und SH) Die verschiedenen Baugrößen erzielen max. Fördermengen zwischen 10 und 100 l/min. Für jede Werkstoffvariante und Baugröße stehen entsprechende Pulsationsdämpfer zur Verfügung. Alle Pumpen der Baureihe FUTUR sind trockenlaufsichere und selbstansaugende Druckluft-Membranpumpen. Sie weisen einen kompakten, einfachen Aufbau mit nur wenigen Teilen auf. Die Massivbauweise der Gehäuseteile sorgt für eine lange Lebensdauer. Reinigung, Montage und Endprüfung der FUTUR Pumpen erfolgt in einer Reinraumlinie. Die neueste Generation der FUTUR-Pumpen für die Halbleiterindustrie ist die Baureihe FUTUR-Omega, die den höchsten Sicherheitsansprüchen für High-End-Anwendungen entspricht: komplett aus PTFE neue Konstruktion mit Ω-förmigen Grundrahmen Membranen und Zentralgehäuse mit Verdrehsicherung neuer PTFE-Membranwerkstoff drei Baugrößen mit max. Fördermengen von 20, 50 und 100 l/min abhängig vom Einsatzfall auch komplett in Polyethylen und Edelstahl lieferbar.
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