PAP-SC-3000

Anseros Ozonsystem zur Wasseraufbereitung in der Halbleiterverarbeitung frei von jeglichen Metallpartikeln. // PRODUKTDETAILS In der Halbleiterverarbeitung ist ein vollständig reines Ozonsystem unabdingbar. Jegliche Metalle und Teilchen, die während des Prozesses (Wafer/IMEC/RCA/SOM, etc.) aus dem Ozonsystems auf die Halbleiteroberflächen emittiert würden, würden die Qualität des Mikrochips beeinträchtigen. Einschließlich ihrer Komponenten – wie beispielsweise des Ozongenerators COM-AD oder des Ozonmonitors WM -, sind die Anseros Wassersysteme PAP-SC vollständig frei von Metallen in Kontakt mit Ozon. Sie sind geeignet für saubere Nass- und Trockenverarbeitung, gleichgültig, ob mit oder ohne Säuren. Zur Gewährleistung der Sicherheit umfasst das PAP-SC System einen Ozonzerstörer CAT-HO. // APPLIKATION - IMEC- und RCA-Reinigungsverfahren - UPW-Systeme - Advanced Oxidation Processes AOP - Drei-Phasen-Systeme - Biologischer Abbau DOC - Sterilisation - CIP-Reinigung // TECHNISCHE DATEN DI-Wasserdurchfluss: 100 … 4000 l/h DO3: 1 … 100 ppmw Material in Kontakt mit Ozon: PFA, Quarz