Der Betrieb der Laserreinigung beruht auf dem Prinzip der Photonenimpulsen, die auf die Oberfläche projiziert werden. Je nach dem Material werden dort thermische, physikalische oder photo-chemische Prozesse ausgelöst, was Reinigungseffekte bewirkt. Im Falle einer oxidierten Metalloberfläche werden die Oxidpartikel von der Oberfläche losgelöst, weil ihre Ausdehnungskoeffizienten von denen des Metalls divergieren.
Die organischen Verschmutzungen werden durch die Wärmeenergie der Laserimpulse sublimiert. Die hohe, absorbierte Energie erzeugt ein stark komprimiertes Plasma (ein unstabiles, ionisiertes Gas), das sich explosionsartig ausdehnt und dabei eine Schockwelle verursacht. Diese Schockwelle fragmentiert die Schmutzschicht in feine Partikel, die dann vom Saugsystem aufgenommen werden. Wenn die Laserstrahlparameter optimiert werden, wird nur die Beschichtung, das Oxid oder die Rückstände ohne Beschädigung des Substrats entfernt.
Diese Art von Laser-Einsatz ermöglicht einen Reinigungsgrad, den man mit herkömmlichen Technologien nicht erreichen kann. Er ist auch sehr umweltfreundlich, weil dabei kein chemischer Abfall oder Staub entsteht.