SILIZIUM-MIKROFONE

microfab verfügt über ein ausgeprägtes Know-how in der Oberflächenmikrobearbeitungfür das Design und die serielle Herstellung von akustischen MEMS Komponenten wie Silizium-Mikrofonen und Ultraschallwandlern (c-MUTs). Die elementaren Bausteine aller kapazitiven Schallwandler sind Membranen, die entweder durch elektrostatische Kräfte oder durch Schallwellen angeregt werden und hinsichtlich mechanischer Beanspruchung und Schichtdicke gut gesteuert werden können. microfab nutzt spezielle LPCVD-Verfahren (Low Pressure Chemical Vapor Deposition) mit niedrigem Druck, wie siliziumreiche Nitride oder in-situ dotiertes Polysilizium in Kombination mit Opferschichttechnologien, um solche funktionellen Schichten aufzubauen. Alle Technologien sind nachweislich für die Serienproduktion in großen Stückzahlen geeignet und werden routinemäßig für kundenspezifische Komponenten eingesetzt.