Diamond-like Carbon (DLC) höchster Qualität
Plasmaentladung eines Magnetrons PTBMag30 in verschiedenen Zuständen
Der Betrieb der Sputterbeschichtungsanlagen erfolgt im vollautomatischen Betrieb mithilfe einer Soft-SPS auf Windows-PC. Die Prozesse für die jeweiligen Beschichtungen sind in die Software implementiert. Nach dem Beschicken der Anlage und Starten des Programms sind keine weiteren Aktivitäten erforderlich. Wahlweise kann in die Prozesse eingegriffen werden. Der korrekte Verlauf des Beschichtungsprozesses wird protokolliert und archiviert. Eine Modifikation der Beschichtungsanlage inklusive Rezipient ist möglich.
CAD-Darstellung des Rezipienten (Vakuumbehälters) einer Sputteranlage mit Blindflanschen
Sputter-PVD Beschichtungsanlage STARON 80-100 inklusive Einhausung mit abgesetzter Steuer- und Versorgungseinheit
Das sind Sputter- und konbinierte Beschichtungsanlagen vom Typ STARON
Beschichtungen: Metalle, Metallnitride, Metalloxide, Metallcarbide,
Prozesse:
Sputter-PVD
PCVD
, Sputter-Ätzen, Plasma-Ätzen
Rezipient: Innenhöhe 1000mm, Innendurchmesser ca. 800mm
Steuerung: Soft-SPS unter Windows-Betriebssystem
Vakuumerzeugung: Dreistufiges System aus Drehschieber-, Roots- und Turbopumpe
Heizung: Strahlungsheizung 5 kW (nötig zum Evakuieren der Anlage)
Bis zu vier Magnetronquellen
Plasmaquelle für Ätzen, Sputterätzen, Plasma-CVD
Plasmageneratoren: DC oder Mittelfrequenz, Leistung 2kW bis 10kW
Werkstückaufnahme: Planetengetriebe mit max. 18 Positionen für Zwei- oder Dreifachrotation
Werkstückaufnahme alternativ: Einfachrotation - Aufnahme eines Werkstückes bis ca. 500 kg Masse
Wasserkühlung erforderlich für Vakuumpumpen und Magnetrons
Druckluft erforderlich bei speziellen Ventilen und Vakuumpumpen