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– a specified plane used as a reference for measuring flatness or bow of the wafer. site flatness – the TIR or FPD measured at a specific location on the wafer surface within the flatness quality area. TIR (Total Indicator Reading) – the maximum deviation of the wafer surface from a specified reference plane, including both positive and negative deviations.

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SOI (Silicon on Insulator)-WaferWafer
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Si-Mat - Silicon Materials e.K.

Viktor-Frankl-Strasse 20, DE-86916 Kaufering
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