Gasanalysegerät BGA

Der neue BGA kann schnell, kontinuierlich und nicht-invasiv das Verhältnis zweier Gase bestimmen oder nur die Reinheit eines einzigen Gases überprüfen. Kostengünstig und praktisch wartungsfrei Reine Gase und Gasgemische sind in tausenden von industriellen und wissenschaftlichen Prozessen von entscheidender Bedeutung. Der neue BGA244 kann schnell, kontinuierlich und nicht-invasiv das Verhältnis zweier Gase bestimmen oder nur die Reinheit eines einzigen Gases überprüfen. Nimmt man wie bei der MOCVD ein Trägergas als Referenz, kann die Dotierungskonzentrationsgenauigkeit bei 10 ppm liegen. Der physikalische Messmodus dient der Messung der thermodynamischen Eigenschaften von Gasgemischen. Durch die Über- oder Unterschreitung von Grenzwerten können Relais gesetzt oder gelöscht werden. Das BGA244 kann direkt in den Gasfluss installiert werden. Alle Metalldichtungen, die im BGA244 verwendet werden, gewährleisten Gasreinheit. Das Gerät arbeitet ohne Laser, Filamente, chemische Sensoren, optische Quellen, Trennsäulen, Referenzgase oder Reagenzien und ist daher zuverlässig, kostengünstig zu betreiben und praktisch wartungsfrei. Genauigkeit: absolut 0,1 %, relativ 0,001 % Abgedeckter Massebereich: H2 bis SF6 Messung zehntausender Gemische Weitere Gase können den Datentabellen hinzugefügt werden Eingabe von Grenzwerten möglich