stabiles Stativ aus Granit und Grauguss
mit manueller Z-Verstellung
leistungsfähige Schrittmotorsteuerung F9S-3-M mit
Joystick und serieller Schnittstelle
präziser Kreuztisch GT8 mit 200 x 200 mm Hub
Drehtisch RT5 mit hoher Rund- und
Planlaufgenauigkeit unter 5 µm
Wafer-Chuck mit Vakuum-Ansaugung
für 12", 10", 8", 6" und 4" Wafer