Geprüft

Aurion Anlagentechnik GmbH

Geprüft
Am Sandborn 14, DE-63500 Seligenstadt
Über Aurion Anlagentechnik GmbH

AURION entwickelt und baut Komponenten für die Leistungsversorgung von Plasmasystemen, komplette Systeme zur plasmagestützten Behandlung von Oberflächen Mehr erfahren

  • Katalog

Zertifikate
1
Zertifikate
DIN EN ISO 9001:2015
aurion_anlagentechnik_gmbh_liefergebiet_weltweit
Weltweit
Liefergebiet
Gründungsjahr
1996
Gründungsjahr
Mitarbeiteranzahl
10 – 19
Mitarbeiteranzahl

Produkte des Anbieters

Zeige 8 von 9 Produkten ( Alle Produkte )
Plasmaanlagen
Plasmaanlagen
komplette Systeme für die Behandlung von und Beschichtung auf Oberflächen mittels Plasmaprozessen
Das KIVOS-Konzept: Plasmasysteme
Das KIVOS-Konzept: Plasmasysteme
KIVOS ist ein sehr flexibles, modulares Konzept für Plasmasysteme.
RIE-PRINZIP: CYLOS 160/RIE
RIE-PRINZIP: CYLOS 160/RIE
Vakuumrezipienten wahlweise aus Aluminium oder Edelstahl, Vakuumpumpen in korrosiv-gasfester Ausführung inkl. Ölnebelabscheider mit Ölrückführung, bis zu 4 Massendurchflußregler für die Gasversorgung
HF Systeme für Teilchenbeschleuniger (ACCELOS-SERIE)
HF Systeme für Teilchenbeschleuniger (ACCELOS-SERIE)
Strahlmanipulation in Teilchenbeschleunigern (z.B. Bunch Compression), Voll integrierte Systeme aus Kavität mit, Strahlrohr und HF-Verstärker. Strahrohr unter XHV (Enddruck < 1E-10 hPa).
COMPACT-MW
COMPACT-MW
Kompakte Systeme, minimale Stellfläche - Hohe Plasmadichten für kurze Prozesszeiten - Optimierte Homogenität durch Plasma-Array mit 2-dimensionalem Gaseinlasssystem - Hohe Beladekapazität
PIKNOS 30 MW
PIKNOS 30 MW
Max. 4 Gasfluss-Controller mit einem Durchfluss von bis zu 500 sccm pro Controller, Netzanschluss: 3/N/PE AC 400/230V, Kammervolumen: 30 l, Abmessungen (BxTxH): 1,0 x 0,8 x 1,8 m
Sputteranlagen (Sputtering)
Sputteranlagen (Sputtering)
AURION bietet speziell auf die Kundenanforderungen zugeschnittene Sputteranlagen in verschiedensten Konfigurationen an.
Inline-Anlagen
Inline-Anlagen
AURION bietet speziell auf Ihre Anforderungen zugeschnittene Mehrkammeranlagen mit Substrattransport unter Vakuum an.
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Betriebliche Kennzahlen

Kennzahl 2019
Bilanzsumme 2 – 5 Mio. €
Umsatz 2 – 10 Mio. €

2019

Bilanzsumme
2 – 5 Mio. €
Umsatz
2 – 10 Mio. €

Angebotsübersicht und Ansprechpartner

Kategorien
Anlagen für die Oberflächentechnik, komplette
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Joachim Scherer
Geschäftsführung
DLC-(Diamond like Carbon)-Beschichtung
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Aurion Anlagentechnik GmbH
Hochfrequenzgeneratoren
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Joachim Scherer
Geschäftsführung
Hochfrequenzkomponenten
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Joachim Scherer
Geschäftsführung
Hochvakuumanlagen
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Joachim Scherer
Geschäftsführung
Maschinen und Anlagen für die CVD-Beschichtung
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Aurion Anlagentechnik GmbH
Plasma-Ätzanlagen
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Joachim Scherer
Geschäftsführung
Plasmabehandlungsanlagen
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Joachim Scherer
Geschäftsführung

Standort & Kontakt

Aurion Anlagentechnik GmbH
Am Sandborn 14
DE-63500 Seligenstadt

Über uns

Über Aurion Anlagentechnik GmbH

Die AURION Anlagentechnik GmbH wurde gegen Ende 1996 von drei Gesellschaftern gegründet. Die Idee, die dieser Firmengründung vorausging, war es, Komponenten und komplette Systeme zur Oberflächenbehandlung herzustellen, welche effizient, kostenreduzierend und umweltverträglich sind.
Als Standort für AURION wurde Seligenstadt ausgewählt, eine kleine Stadt einige Kilometer östlich von Frankfurt a. M. direkt an der A3 gelegen. So sind wir leicht per Flugzeug, Zug oder Auto zu erreichen. Momentan beschäftigt AURION 16 hochqualifizierte Ingenieure und Techniker.

Geschäftsbereich HF-Komponenten
AURION entwickelt und baut Komponenten für die Leistungsversorgung von Plasmasystemen. Hierzu gehören Impedanzanpassungsnetzwerke mit Autotuningeinheit sowie Filter, Schalter, Phasenschieber, Leistungsteiler, Leitungen und Steckverbinder. Der Schwerpunkt liegt im Bereich der Hochfrequenz-Plasmaprozesse bei 13,56 bzw. 27,12 MHz. Auf dem Gebiet der Komponenten liefern wir spezifische, individuelle und qualitativ hochwertige Lösungen ganz nach Kundenanforderung, weshalb einige der größten europäischen Hersteller von Plasma-Beschichtungsanlagen zu unseren Kunden gehören. Aufgrund der großen Erfahrung unserer Mitarbeiter, bieten wir des weiteren sowohl Technologieberatung als auch ein- oder mehrtägige Schulungen auf den Gebieten Plasma- und HF-Technik an.

Geschäftsbereich Plasmasysteme
Auf dem Know-how aus dem Komponentenbau aufbauend bietet AURION außerdem komplette Systeme zur plasmagestützten Behandlung von Oberflächen an, das heißt sowohl zur Oberflächenreinigung und -modifikation als auch für Beschichtungs- und Ätzprozesse (PVD, PECVD, RIE, Mikrowelle). Basierend auf unserem sehr flexiblen, modularen Anlagenkonzept, bieten wir jedem Kunden eine auf seine speziellen Anforderungen zugeschnittene Lösung.
Anwendungen für unsere Systeme sind zum Beispiel die Feinreinigung von Metallteilen und Glas sowie die Vorbehandlung von Kunststoffoberflächen zur Verbesserung der Hafteigenschaften. Weitere Einsatzmöglichkeiten liegen in der Halbleiter-, der Medizin- und der Mikrosystemtechnik, wo unsere Anlagen zur Beschichtung oder zum reaktiven Ionenätzen verwendet werden.

Komplette Systeme für die Behandlung von und Beschichtung auf Oberflächen mittels Plasmaprozessen
- Aktivierung, Reinigung und Ätzen mit Atmosphärendruckplasma, Reaktivem Ionenätzen (RIE) und Mikrowellen Downstream Plasma
- Beschichtung durch Physical Vapour Deposition (PVD, Sputtern) und Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition (PECVD)

Hochfrequenztechnische Komponenten
- Automatische Impedanzanpassungsnetzwerke (Matchboxen)
- Schalter
- Filter
- Power Splitter
- Phasenschieber
- Übertragungsstrecken und Verbindungen
- HF Generatoren
- Messtechnik

Das Team von Aurion bietet seine jahrelange Erfahrung auf den Gebieten Plasma- und Hochfrequenztechnik für Beratungsdienstleistungen und im Rahmen von Schulungen an.

Leitende Mitarbeiter

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Referenzen

Beratungsleistung

Thanks for the report and delivery note! I have signed the delivery note and you can find it attached in this mail. Thanks ones again for your quick response in December and the good troubleshooting by Dr. Gesche!

Durchlauf-Beschichtungsanlagen

Ich möchte mich hiermit noch einmal bei Ihnen für die wirklich tolle Zusammenarbeit und Ihre kompetente Hilfe (auch vom gesamten Team) bedanken. Ich habe bisher im Bereich der Anlagentechnik noch nie so schnelle Lösungen so unkompliziert erhalten. Daher bin ich froh, bei Ihnen die Anlagen gekauft zu haben.

Weitere Informationen anfragen

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