Anlage zum Schweißen mit dem Mikroelektronenstrahl für feine und feinste Nähte bei minimalem Energieeintrag in das Werkstück. Optional bieten wir eine bauteilspezifische Prozessentwicklung an.
FOCUS Mikroelektronenstrahlschweißgeräte (MEBW-60) sind ausgelegt für höchste Präzision beim Fügen und für Oberflächenmodifikationen bis in den μm-Bereich - ein ideales Werkzeug für die Sensortechnologie, die Luft- und Raumfahrtindustrie und das Mikrobohren. Die MEBW-60 Maschinen haben eine Leistung von bis zu 2 Kilowatt (60 kV) und einen Strahlfokus von kleiner 50 Mikrometern. Die Strahlnavigation wird mit einem 25 μm Rasterelektronenmikroskopie-Modus realisiert. Der Strahlstrom kann in Schritten von 15 μA gesteuert werden, um eine ultimative Leistungsregelung für anspruchsvolle Verbindungsprozesse zu gewährleisten.
Die MEBW-60 L 95 ist mit einer Prozesskammer von 95 Litern Volumen, einem CNC gesteuerten X/Y-Tisch mit +/- 75 mm Verfahrweg und einem optionalen kippbaren Drehtisch mit 3-Backenfutter ausgestattet. Der X/Y-Tisch erlaubt komplexe Schweißnahtgeometrien, kann größere Bauteile im Vergleich zur MEBW-L8 aufnehmen und erhöht den Durchsatz bei kleineren Bauteilen, von denen mehrere in einem Abpumpdurchgang bearbeitet werden können.
Prozesskammer: 95 LIter
Werkstückmanipulator 1: Dreh- Schiebemanipulator
Werkstückmanipulator 2: X/Y Tisch
Werkstückmanipulator 3: Drehtisch
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