IWH Serie 3 mit 2-Link-Dual-Arm

Durch die beiden unabhängigen Arme, können die Wafer sehr schnell ausgetauscht und neu bestückt werden. Somit werden Leerfahrten vermieden. Wafer-Handler der Serie 3 mit Dual Arm besitzen das Potenzial, den Durchsatz einer Anwendung zu steigern. Durch die beiden unabhängigen Arme, können Wafer sehr schnell ausgetauscht und somit Leerfahrten vermieden werden. Merkmale Ausgezeichnete bauliche Steifigkeit Handhabung von Wafern bis zu 300 mm höchste Zuverlässigkeit und Genauigkeit einfache Anbindung eines Linear Track an die Robotersteuerung sehr laufruhig spielfreie Harmonic Drive®-Getriebe Absolut-, Inkrementelle Encoder oder Resolver integrierte 2-kanalige Vakuumanzeige inklusive Standard oder Advanced Controller & Software ISO 1-reinraumkompatibel MTBF: > 50.000 Betriebstunden made in Germany Gewicht: ca. 25 - 40 kg Wiederholungsgenauigkeit: T: +/- 0,02°/s R: +/- 0,02 mm Z: +/- 0,02 mm Arbeitsbereich: Z: 7", 10", 13", 15", 17", 21" radial: 10", 14" theta: 500 Nutzlast: bis zu 1.25 kg (pro arm) Max. Geschwindigkeit: T: 360°/s R: 1100 mm/s Z: 425 mm/s Netzanschluss: 115 – 230 VAC 50 – 60 Hz 500 VA (standard) 550 VA (advanced) Schnittstelle: RS-232 [DB9] Ethernet [RJ-45]