Pumpstände RUTA

Leybold bietet zwei- bis dreistufige Vorvakuumsysteme an – entweder standardisierte „DS“ oder kundenspezifische „RUTA“. Beide Systeme zeichnen sich durch eine Vielfalt an Kombinationsmöglichkeiten aus Typische Einsatzgebiete für RUTAPumpsysteme sind Industrie, Forschung und Chemie. Hierbei stellen Prozesse der Metallerzeugung und -verarbeitung, Trocknungs- und Entgasungs-Prozesse, Wärmebehandlungs- Prozesse, Beschichtungs- Prozesse im Bereich der Solar- und Halbleiter-Fertigung sowie der Oberflächenveredelung die Schwerpunkte dar. RUTA-Pumpsysteme werden auch als Vorpumpsatz für Hochvakuumsysteme in Kombination mit Diffusionspumpen, Turbomolekular-Pumpen und Kryopumpen eingesetzt.