Schnelles optisches und elektrisches Charakterisieren von photonischen Silizium-Wafern
Zuverlässiger Test auf Wafer- und Chip-Ebene
Die Teststation NanoTest SiP ist ideal an die Bauteilstruktur der jeweiligen Schaltkreise auf dem Silizium-Wafer angepasst, um in kürzester Zeit die optischen und elektrischen Eigenschaften zu messen. Der Chuck nimmt Wafer bis zu 12 Zoll (300 mm) Durchmesser auf, und ein zusätzlicher Adapter erlaubt das Testen einzelner Chips.
Hochgenaue Bewegungssysteme garantieren gleichbleibende Einkoppelbedingungen, eine unabdingbare Voraussetzung für präzise Messergebnisse. Das Softwarepaket Testmaster ermöglicht vielfältige Messungen und die eindeutige Darstellung der Ergebnisse.