Kompaktanlage Hyperion

Die Kompaktanlage Hyperion ist ein hochpräzises 3D Meßsystem zur berührungslosen Erfassung von Topographien und Profilen. Zur Meßwerterfassung dienen die optischen Sensoren der OPM GmbH. Sie erlauben die direkte Vermessung von Strukturgrößen bis zu einer Höhe von 1.5 mm, in Verbindung mit der optionalen motorisierten Z-Achse bis in den cm-Bereich und einer Auflösung bis zu 10 nm, beim Interferometer bis in den sub-nm Bereich. Das Softwarepaket Inspector ermöglicht eine umfangreiche Analyse der aufgenommenen Meßdaten.