Prior Kapazitiver Sensor NanoSensors der NX-Serie von Queensgate

Der NanoSensor® ist ein berührungsloses Positionsmesssystem, das auf dem Prinzip der Kapazitätsmikrometrie basiert. Zwei Sensorplatten, ein Target und eine Sonde, bilden einen Parallelplattenkondensator. Der Abstand dieser beiden Platten kann mit der entsprechenden elektronischen Steuerung gemessen werden, bis besser als 7pm, mit einem Bereich bis zu 1,25mm, einem Frequenzgang bis zu 10KHz und einer Linearität bis zu 0,02%. Da der NanoSensor eine berührungslose Methode ist, ist er frei von Hysterese. Am Messpunkt wird keine Leistung abgeleitet. Eigenschaften: - Sub-Nanometer-Positionsauflösung - Null-Hysterese - Linearitätsfehler bis hinunter zu 0,02 %. - Bandbreite bis zu 10 kHz - Konstruktion mit hoher thermischer Stabilität (Super-Invar, Zerdur und Keramikoptionen verfügbar) - UHV, Strahlung, Tieftemperatur, unmagnetisch usw. Varianten Anwendunsgbereiche: - Präzisions-Fertigung - Metrologie - Deformationsmessungen - Fleckenmessung (verwendet an Roboterarm und -hand der Raumstation) - Steuerung der Bühne - Materialprüfung - Mikroskopie - Aktive Optik - Präzisionsbalken-Lenkung