Der H112 kann problemlos 12-Zoll-Wafer (300 mm) aufnehmen und arbeitet mit vielen Roboterarm-Wafer-Ladegeräten zusammen.
Der H112-Tisch ist ideal zum Scannen einer Vielzahl von Halbleiterwafern, Fotomasken, Flachbildschirmen und Leiterplatten. Der H112 kann problemlos 12-Zoll-Wafer (300 mm) aufnehmen und arbeitet mit vielen Roboterarm-Wafer-Ladegeräten zusammen. Darüber hinaus kann der H112 für Durchlichtanwendungen mit einem Durchlichtbereich von 250 mm x 250 mm verwendet werden.
Besondere Merkmale:
- Geeignet für die meisten gängigen Markenmikroskope
- 1µm oder bessere Wiederholbarkeit
- Optionale 100nm-Linearskalen bieten die höchste verfügbare Auflösung
- Große Auswahl an Waferhaltern
- 302 mm x 302 mm (12″x12″) Hub