Vakuumöfen mit Graphit-Heizeinsatz Typ COV

COV-Anlagen sind graphitbeheizte Anlagen zur Wärmebehandlung im Vakuum. Die Bandbreite bezüglich Bauart, Nutzraumgröße, Vakuum und Arbeitstemperatur ist äußerst groß, woraus ein sehr weites Anwendungsspektrum resultiert. Typische Anwendungen sind Sintern (einschließlich Entbindern), Löten, Entgasen, Wärmebehandeln, Reinigen, CVD-Beschichten, etc. Wärmebehandlungsanlagen der Baureihe COV sind besonders leistungsfähige Anlagen mit großem Arbeitstemperaturbereich. Sie sind durch den Einsatz verschiedenster Gase und aufgrund vollautomatisierter Prozessabläufe speziell für den wirtschaftlichen Einsatz in der industriellen Fertigung geeignet. Anwendungen: • max. Arbeitstemperatur 1.100 °C: Wärmebehandeln, Löten, Reduzieren, Entgasen und Entwachsen • max. Arbeitstemperatur 1.350 °C: Wärmebehandeln, Löten, Entgasen, Entwachsen und Sintern • max. Arbeitstemperatur 1.600 °C: Entwachsen und Sintern von Hartmetallen • max. Arbeitstemperatur 1.800 °C: Sintern von NO-Keramik • max. Arbeitstemperatur 2.000 °C: CVD- und Pyrolyse-Prozesse, Entgasen und Reinigen, Sintern • max. Arbeitstemperatur 2.200 °C: CVD-Prozesse, Entgasen und Reinigen, sintern von NO-Keramik • Abhängig von dem Verfahren können auch Anlagen mit Betriebstemperaturen bis 2.600 °C realisiert werden. Besondere Anwendungen: • Reduktion und Entgasen von wasserverdüsten Metallpulvern (1.100 °C) • CVD-Prozesse wie z.B. Graphitbeschichtung mit SiC (1.800 °C) • Graphit-Reinigungsprozesse mit reaktiven Gasen (2.200 °C) • Druckloses Sintern von nichtoxidischer Keramik wie SiC (1.700 - 2.100 °C) Kundennutzen: Besonders robuste Konstruktion mit hoher Prozeß-Sicherheit und großer Anwendungs-Bandbreite macht die Baureihe COV zu einer Investition mit optimaler Kosten-Nutzen-Relation. Anlagenkonzept: Basis der Anlage ist der Heizeinsatz aus Graphit mit einem Heizsystem aus Graphitrohr-/stab- oder Mäander-Heizelementen, gleichmäßig um den Nutzraum angeordnet. Die thermische Isolation aus Graphit-Hartfilz schirmt den Heizraum zu dem doppelwandigen, wassergekühlten Kessel ab. Durch die spezielle Konzeption und Ausführung der thermischen Isolation wird eine hervorragende Temperaturgleichmäßigkeit und Langzeitstabilität gewährleistet. Mechanisch besonders beanspruchte Teile bestehen aus hochwertigen faserverstärkten Graphiten. Die Baureihe COV kann je nach Anforderung als horizontaler Kammerofen oder als vertikaler Schachtofen (Top- oder Bodenlader) ausgeführt werden. Eine Anlage der Baureihe COV besteht aus folgenden Grundmodulen: Wassergekühlter Kessel, Heizeinsatz, Vakuum-Pumpstand, Gasumwälzung, Energieversorgung und Steuerung. Diese Module sind je nach Bedarf in den verschiedensten Ausführungen kombinierbar. In vielen Anwendungen kommt eine Kondensataustrageinrichtung mit einem geschlossenen Chargenrezipienten zum Einsatz (z.B. zum Entbindern von Sinterpreßlingen). Je nach Verfahren stehen Optionen wie z.B. Schutzgasausrüstung oder Hoch-Vakuumausführung zur Verfügung. COV-Anlagen zum Hart- und Hochtemperaturlöten unter Vakuum können mit Betriebstemperaturen bis 1.350°C als vertikale Schachtöfen auch mit Bodenbeladung oder als Kammeröfen zum Chargieren mit Flurfördereinrichtungen ausgeführt werden. Enthalten ist eine vollautomatische Prozessführung und die Verfahrensrealisierung unter Verwendung von Schutz- und Reaktivgasen. Der Pumpstand wird an die Prozeßanforderungen angepaßt. Der Lötprozeß wird mit Chargenthermoelementen kontrolliert. Als Option wird eine Kühlgasumwälzung zum beschleunigten Abkühlen der Charge angeboten. COV-Anlagen zum Hartmetallsintern sind so konzipiert, daß zunächst das organische Bindemittel aus den Hartmetall-Grünlingen ausgetrieben wird. Als Bindemittel werden im wesentlichen Paraffine bzw. Polyäthylenglykole verwendet. Um den Reinheitsgrad zu erhalten, ist die Charge von einem geschlossenen Rezipienten aus Graphit umgeben. Die Bindemittel werden unter Vakuum oder Wasserstoff vollständig und rückstandfrei ausgetrieben und in einem Kondensator gesammelt. Nach dem Entwachsen wird der Chargen-Rezipient automatisch geöffnet und die Charge evakuiert. Während des nachfolgenden Sinterns wird die Cobalt-Verdampfung mit Hilfe einer Vakuum-Druckregelung unterdrückt. Eine Behandlung mit Reaktivgasen bzw. eine Druckregelung mit Inertgas kann vorgesehen werden. Zur schnellen Abkühlung der Charge wird ein Gebläse installiert, welches das Kühlgas entweder im Ofenraum oder über einen externen Kühler umwälzt.