Imina NANO-Produktlinie

In-situ-Nanoprobing- und EFA-Lösungen (Electrical Failure Analysis) für SEM, FIB oder Dual Beam. Die Positionierungsauflösung beträgt < 1 nm. Abnehmbare Plattformen werden einfach (in Minuten) auf dem Probenpositionstisch der meisten REM-Modelle montiert. Die Plattformen können mit bis zu 8 mobilen miBot™ Nanoprobern verwendet werden. Die Lösungen sind mit fortschrittlichen Mikroskopen kompatibel , die kurze Arbeitsabstände, Neigungswinkel und den magnetischen Immersionsmodus verwenden. EFA-Anwendungen wie EBAC/RCI, EBIC, EBIRCh werden unterstützt. Unsere Precisio™-Software bietet einen integrierten Workflow, um die Positionierung der Nanosonden zu ermöglichen, elektrische Testmessungen durchzuführen und die Verarbeitung Messdaten und Berichterstattung zu unterstützen. Anwendungen: + In-situ Material-Charakterisierung + Mikro/Nano Handhabung + Elektrische Transport-Messungen + REM/TEM Probenpräparation + MEMS/NEMS-Prüfung + Lokale Licht-Kollektion + Flüssigkeits-Ausgabe Typische Proben: + Transistoren + Via Chain – Teststrukturen + Nacktchips oder offene Strukturen + MEMS/NEMS + 2D Material – Bauteile + Nanodrähte und CNTs + Meso-Kristalle