... - >7mrad-Bereich in jeder Achse mit Sub-Mikro-Radius-Auflösung - Invar 36 passt sich der thermischen Ausdehnung der meisten Optiken an und minimiert jede thermische Positionsbewegung - Kapazitiver Positionierungssensor mit unübertroffener Positionsgenauigkeit und Präzision - Dynamische Leistung, hohe belastete Resonanzfrequenzen sowie sehr hohe Servoschleifenbandbreiten von über 1KHz...
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