Mehrstufige Drehkolben-Vakuumpumpen
TORRI mehrstufige Drehkolben-Vakuumpumpen sind die kompakte und energieeffiziente Lösung zum Evakuieren von Load-Lock-Kammern.
Sie zeichnen sich durch niedrigen Enddruck und eine hervorragende Kammer-Evakuierungszeit aus.
Funktionsprinzip
TORRI BD Vakuumpumpen arbeiten nach dem bewährten Drehkolbenprinzip.
Das Fördermedium wird durch die Drehung der Kolben angesaugt und von Stufe zu Stufe bis zum Auslass befördert.
Durch das spezielle Profil dieser Drehkolben und die präzise Fertigung berühren die Kolben weder sich gegenseitig noch den Zylinder, in dem sie sich drehen.
Außerdem sind keinerlei Schmiermittel oder Betriebsflüssigkeiten im Verdichtungsraum notwendig.
Die Kolben werden von einem direkt angeflanschten synchronen wassergekühlten Elektromotor angetrieben.