Aufklärung von Schichtstrukturen - Sputterprofilmessungen - Querschnitte

Die Aufklärung des Aufbaus und der Zusammensetzung von Schichtstrukturen vom Mikrometer bis in den Nanometerbereich gehört zu unserem Dienstleistungsangebot. Die Analyse von Dünnfilmen, Schichten und Schichtstrukturen sowie dickeren Be­schicht­ungen ist ein eigenes Gebiet der Oberflächenanalytik. Die Schichtdicken können dabei von nur wenigen Nanometern bis hin in den Millimeter-Bereich variieren. Teilweise müssen die Untersuchungen sehr lokal, z.B. im Bereich einer Fehlstelle, durchgeführt werden. Je nach Aufgabenstellung werden hier verschiedene Analysemethoden eingesetzt, oft auch in Kombination. Die Art der Präparation bzw. die Informationstiefe der Methode muss dabei auf die spezifische Probe und Fragestellung abgestimmt werden. Für die Probenpräparation stehen bei nanoAnalytics verschiedenen Tools zur Verfügung: - Sputtertiefenprofilmessungen mit XPS oder ToF-SIMS - Erstellen Materialographischer/Metallographischer Querschliffe, incl. chemischem Ätzen oder Ionenätzen zur Kontrastierung - Präparation von Ionen-Querschnitten (ähnlich FIB Schnitten) - Kryo-Brüche Weitere Informationen finden Sie auf der Produkt-Informationsseite (--> Link oben).